클린룸

Microfabrication Basics

Material Structure Crystalline(단결정): 원자들이 모두 같은 배열 규칙을 갖는 경우이다. 고온(약 1000도)에서 형성되므로 비싸다. 고온에서 형성되기 때문에 원하는 곳에 증착 또는 성장시키기가 어렵다. 회로를 만든 상태에서 단결정 실리콘을 증착하려고 한다면 고온이 요구되기 때문에 결국은 회로가 녹아서 망가져 버린다. Polycrystalline(다결정): Grain Boundary라는 경계면을 기준으로 원자의 배열 규칙이 다르다. Amorphous(비정질): Grain Boundary가 너무 작아서 엄청나게 많은 경계가 있는 경우이다. 이 경우에는 규칙이 없이 난잡하다. 상대적으로 저온(200 ~ 300도)에서 형성되어 비용이 크게 들지 않는다. 반도체에서 사용하는 절연체인 S..